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同惠 TH199X系列 精密源/测量单元(SMU)
TH199X系列是常州同惠推出的高精度源测一体化精密源/测量单元,包含单通道TH1991系列与双通道TH1992系列共7款型号。设备采用四象限精密电源架构,最高支持±210V直流电压、±3A直流电流与±10.5A脉冲输出,测量分辨率可达10fA/100nV(6½位),集电压源、电流源、电压表、电流表、电阻表五种功能于一体。支持直流、脉冲、扫描、列表输出与任意波形生成,内置半导体器件特性曲线测试功能,搭配7英寸电容触摸屏与Linux操作系统,标配丰富通讯接口与上位机软件,可广泛应用于半导体分立器件测试、精密电子表征、新能源器件验证与科研实验等场景。
核心性能指标
通道与显示配置
- 提供单通道/双通道两大系列,共7款细分型号可选
- 7英寸电容式触摸彩色LCD,分辨率800×480
- 搭载Linux操作系统,触控+旋钮双操作方式
- 支持二线制与四线制(Kelvin)测量连接
- 内置仪器自检与温度监控功能,运行状态可视化
源输出能力
- 四象限精密电源输出,支持源载双向工作
- 最高电压:±210V直流;TH1991C为±63V
- 最大直流电流:±3.03A;脉冲电流最高±10.5A
- 源输出分辨率最高10fA/100nV,达6½位水准
- 输出滤波器时间常数可自由设置,适配不同负载
测量性能参数
- 测量位数最高6½位,电压分辨率100nV,电流分辨率10fA
- 电阻测量范围2Ω~200MΩ,四线测量精度优异
- 支持Delta低电阻测试,有效补偿热电动势误差
- 最小采样间隔1μs,支持高速时域数据采集
- 内置滑动平均滤波、偏差扣除、数学运算功能
波形与系统集成
- 支持直流、脉冲、扫描、列表四种输出模式
- 脉冲最小脉宽50μs,编程分辨率1μs
- 内置二极管、三极管、MOS管、IGBT特性曲线测试
- 14档分选功能,含Grading和Sorting两种模式
- 标配RS232、USB、LAN、HANDLER接口,支持SCPI指令
关键技术特性
超高精度源测一体架构
采用四象限精密源设计,单台设备即可同时完成激励施加与信号测量,覆盖电压、电流、电阻、功率多参数测试。最高6½位测量分辨率,电流检测低至10fA,电压分辨达100nV,配合四线制连接与Delta测试模式,可精准表征微弱信号与低阻器件,满足半导体与新材料研究的高精度测试需求。
多模式输出与高速采样
支持直流恒定输出、脉冲输出、线性/对数扫描输出以及列表扫描输出,可生成任意波形,最小脉冲宽度可达50μs,脉冲编程分辨率1μs。采样间隔最小1μs,配合时域滚动显示功能,可完整捕捉器件瞬态响应特性,适配脉冲测试、动态特性表征等高速测量场景。
半导体器件专属测试功能
内置Expert专家测试模式,可一键生成二极管、三极管、场效应管、IGBT等常用半导体器件的特性曲线,支持正向/反向IV测试、脉冲测试等多种模式。图形化界面支持坐标缩放、游标读数、迹线保存与表格导出,无需额外编程即可快速完成器件参数表征。
丰富的数据处理与分选能力
内置数学运算、滑动平均滤波、相对偏差扣除等数据处理功能,可直接对测量结果进行修正与换算。提供14档分选功能,支持分级模式与排序模式,可自定义上下限与输出引脚逻辑,适配产线自动化分选场景;测试结果支持图形与表格双模式展示,可直接保存至U盘。
灵活的触发与定时系统
支持ARM与FPGA双层触发架构,提供内部定时、手动触发、总线触发与外部Handler触发多种触发源。触发延迟、周期、计数均可编程设置,定时器精度达±50ppm,可实现多设备同步与精准时序控制。Handler接口支持14路数字IO,可灵活配置为触发输入/输出与状态输出。
完备的接口与上位机生态
标配RS232、USB HOST/DEVICE、LAN、HANDLER接口,支持SCPI标准指令集,可快速接入自动化测试系统。标配上位机软件TonghuiExpert,支持电脑端远程控制、数据采集与波形分析。设备支持高电容负载模式,可适配容性器件测试,同时具备过压、过流、过温多重保护机制。
型号与技术参数
系列型号核心参数对比
型号 通道数 最大电压 最大直流电流 最大脉冲电流 源位数 测量位数 最小采样间隔 TH1991C 1 ±63V ±1.515A 无 5½ 6½ 50μs TH1991B 1 ±210V ±3.03A 无 5½ 6½ 20μs TH1991A 1 ±210V ±3.03A ±10.5A 5½ 6½ 10μs TH1991 1 ±210V ±3.03A ±10.5A 6½ 6½ 1μs TH1992B 2 ±210V ±3.03A 无 5½ 6½ 20μs TH1992A 2 ±210V ±3.03A ±10.5A 5½ 6½ 10μs TH1992 2 ±210V ±3.03A ±10.5A 6½ 6½ 1μs 详细技术规格
参数类别 规格详情 基本功能模式 电压源、电流源、电压表、电流表、电阻表五种基本模式;支持功率测量 输出模式 直流DC、脉冲Pulse、线性/对数扫描Sweep、列表List、任意波形生成 电压量程 200mV ~ 200V(TH1991C为200mV~60V),支持自动/手动量程 电流量程 10nA ~ 3A;脉冲模式最高10.5A;支持自动/手动量程 电阻测量 量程2Ω~200MΩ,四线制测量;支持Delta模式消除热电势影响 脉冲输出 最小脉宽50μs,编程分辨率1μs;支持宽范围电压电流组合与占空比设置 测量速度 孔径时间1μs~2s可调,支持NPLC设置;最快采样间隔1μs(旗舰型号) 半导体测试 二极管、BJT三极管、MOS场效应管、IGBT特性曲线一键测试 数据处理 数学运算(mx+b、百分比、倒数)、滑动滤波、相对偏差扣除、14档分选 显示与操作 7英寸电容触摸屏,800×480分辨率;支持旋钮微调与触控操作 通讯接口 标配:RS232、USB HOST、USB DEVICE、LAN、HANDLER 指令系统 支持SCPI标准程控指令,兼容主流自动化测试平台 配套软件 标配上位机软件TonghuiExpert,支持远程控制与数据采集分析 电源输入 90V~264V宽幅交流输入,47~63Hz;最大功耗250VA 外形尺寸 上架尺寸:215mm(W)×132mm(H)×490mm(D);外形:235mm(W)×154mm(H)×530mm(D) 重量 单通道约8.5kg,双通道约10kg 产品资料下载
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