SMM3000X系列源测量单元

SMM3000X 系列是精确的源/测量单元(SMU)仪器,可同时输出并测量电压和电流,集成了电流源、电压源、电压表、电流表功能,特别适合半导体特征分析,纳米级器件和材料,有机半导体等测试应用
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  • SMM3000X系列数字源表

    鼎阳科技 SMM3000X 系列是精密的源/测量单元(SMU)仪器,可同时输出并测量电压和电流。提供 10 fA / 100 nV 的最小输出及测量分辨率,6½ 显示分辨率,支持四象限精密电源输出及多种测量模式,广泛应用于半导体特征分析、新材料研究及精密电子器件测试等领域。

    核心性能指标

    精度与分辨率

    • 10 fA / 100 nV 最小输出及测量分辨率
    • 6½ 显示分辨率 (2,100,000 count)
    • 最大采样速率 100ksps (0.0005 PLC)
    • 最小触发间隔 10 μs

    功率与输出范围

    • 四象限精密电源输出(单/双通道)及测量
    • 高达 ±210 V 直流电压
    • 高达 ±3 A 直流电流 / ±10.5 A 脉冲电流
    • 最大输出/吸收负载功率 31.8 W

    功能与接口

    • 电压源、电流源、电压表、电流表、电阻表五种基本模式
    • 支持直流、脉冲、扫描及列表输出
    • 配置 USB Device, USB Host, LAN 接口
    • 支持 Web-server 及标准 SCPI 远程控制命令

    产品型号概览

    型号 描述
    SMM3311X 精密源/测量单元,单通道,10 fA,210 V,3 A DC / 10.5 A 脉冲
    SMM3312X 精密源/测量单元,双通道,10 fA,210 V,3 A DC / 10.5 A 脉冲
    标配附件 USB数据线、快速指南、产品保修卡、电源线、输出线缆。

    关键技术特性

    高精度多功能集成

    集成四象限源和阱功能,兼具电压源、电流源、电压表、电流表和电阻表五种基本模式,各功能可任意切换。10 fA / 100 nV 的极高分辨率确保对小几何尺寸和低功耗器件的精确测试。

    脉冲与任意波形生成

    支持直流、脉冲、扫描及列表输出。脉冲输出的脉宽最小可达 50 μs,并具备任意波形生成及列表扫描功能(最小 10 μs 间隔),满足动态测试和瞬态特性分析需求。

    灵活的电阻测量模式

    支持两线制和四线制测量,内置 Delta 低电阻测试方法,能够有效补偿由热电动势引起的测量误差,确保在低电阻测量场景下的高精度。

    高速采样与大容量存储

    最大采样速率高达 100 ksps,最小触发间隔仅为 10 μs。配备大至 100k 点的内部存储空间并支持时间戳,方便捕获和记录快速变化的信号特征。

    高电容模式与输出滤波

    提供高电容模式,允许测量电容最大为 50 μF 的容性负载器件。输出滤波器时间常数可设置以实现不同频响输出(最大 5ms),适应各种复杂负载的测试需求。

    直观的触摸屏与远程控制

    配备 5 英寸真彩 TFT-LCD 触摸屏及全新 UI 交互,提供图形和数字视图模式。支持 Web-server,可通过浏览器直接进行远程控制,6 组外触发接口方便系统集成。

    产品资料下载