功率与动态范围

• 功率级别可配置：200V 至 3kV，1A 至 100A
• 极宽动态测量范围：µV 至 kV，fA 至 100A
• 现场可升级和重构，可转换为可靠性或晶圆分选测试仪

C-V 测试能力

• 全范围电容-电压 (C-V) 测试能力
• 电容量程从 fF 到 µF
• 支持 2、3 和 4 端器件
• 最高支持 3kV DC 偏置

接口与夹具

• 高性能测试夹具支持多种封装类型
• 探针台接口支持 HV triax、SHV coax、标准 triax 等多种探针
• 同时支持封装器件测试和晶圆级测试

完整的高功率器件表征方案

包含表征工程师快速开发完整测试系统所需的所有关键硬件。测量通道由 Keithley SourceMeter SMU 仪器和可选的多频电容电压 (C-V) 计组成，其动态范围和精度比传统曲线追踪仪高出数个数量级。

精密的电缆与夹具系统

为连接 8010 测试夹具或 8020 接口面板开发了一套完整的精密电缆。高压通道采用定制三同轴电缆，即使在 3kV 满量程下也能实现快速稳定和极低电流测量；大电流通道采用特殊低电感电缆，提供快速上升时间脉冲以最小化自热效应。

高压电容-电压 (C-V) 测试

提供 PCT-CVU 多频电容电压计，结合可选的 200V 或 3kV 偏置三通，可在 2、3 或 4 端器件上测量电容随电压的变化。支持 10kHz 至 2MHz 的测试频率，可测量 fF 至 100nF 的电容。

ACS Basic Edition 软件

专门针对 Keithley 仪器的高性能功能进行了优化，提供实时追踪模式和完整的参数模式。包含超过 60 种预设 C-V 测试（如 MOSFET Ciss, Coss, Crss 等），用户拥有完全的控制权，可开发超越传统曲线追踪仪的高级测试算法。

广泛的器件支持

支持各类功率半导体器件的电气表征，包括 MOSFET、BJT、IGBT、二极管、可控硅、电容和电阻等。可测量击穿电压 (Bvdss, Bvceo)、导通电流 (Vdson, Vcesat, Vf)、漏电流 (Idss, Igss) 及阈值电压等关键参数。

灵活的现场升级能力

系统设计支持现场升级和重构，用户可以根据测试需求的变化，将现有的 PCT 系统转换为可靠性测试仪或晶圆分选测试仪，保护投资并适应不断发展的功率器件测试需求。